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化學指標單位：μg/L
序號 | 水質項目 | 一級高純水指標 | 二級高純水指標 |
1 | 電阻率（25℃）MΩ·cm | ≥15 | ≥10 |
2 | 電導率，μs/cm | 0.05 | 0.1 |
3 | PH值 | 6.8～7.2 | 6.6～7.4 |
4 | 細菌總數，個/mL | ＜3 | ＜9 |
5 | 微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL） | ＜150 | ＜300 |
6 | 二氧化硅 | ＜10 | ＜20 |
7 | 有機物（以COD計） | ＜0.3 | ＜0.5 |
8 | 鈉 Na | ＜0.5 | ＜2 |
9 | 鐵 Fe | ＜1 | ＜2 |
10 | 銅 Cu | ＜0.5 | ＜1 |
11 | 鈣 Ca | ＜1 | ＜3 |
12 | 鎂 Mg | ＜0.2 | ＜1 |
13 | 鋅 Zn | ＜0.5 | ＜1 |
14 | 錳 Mn | ＜0.2 | ＜0.5 |
說明：①一級高純水合用于大規模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導體器件產品。
②二級高純水合用于一般電路，分立器件以及有相同要求的半導體器件產品。
③本表按1980年電子產業部尺度摘錄。
"工業超純水水質標準是什么?"由“中水回用”廠家-瀅源水處理設備整理發布，如需轉載請注明來源及出處，原文地址：http://m.m96964.com/news/318.html
廣東瀅源環保水處理科技有限公司18年專注水處理設備,純水設備,中水回用,回用水設備,軟化水設備,EDI超純水設備等設備的研發、生產與銷售。公司生產產品可廣泛應用于電子、電力、電鍍、線路板、光學鏡片、化工、化妝品、醫藥、食品飲料、漂染、酒業、輕工、晶硅半導體等諸多行業，并已通過IS09001質量管理體系認證。針對國內不同地區的水質特性提供不同的解決方案，并提供近千套水處理設備系統，保證出水質量達到合格要求！
